SEMI-Prüfung und Zertifizierung
Kundenvertrauen sichern mit SEMI geprüften Anlagen
Halbleiter sind für viele Technologien unabdingbar und werden für Computer ebenso benötigt wie für Elektroautos oder die Telekommunikation. Um hier für hohe Standards in Sachen Sicherheit und Nachhaltigkeit zu sorgen, hat der Branchenverband SEMI Richtlinien entwickelt. Diese sind zwar rechtlich nicht bindend, werden aber von vielen Unternehmen freiwillig befolgt und als Branchenstandard angesehen.
TÜV Rheinland bietet die Prüfung und Zertifizierung der SEMI Normen S2 und S8 an, die Sicherheit und Ergonomie der Anlagen dokumentieren. Zudem prüfen und zertifizieren wir im Rahmen der SEMI Richtlinie F47 die Störfestigkeit von Industriemaschinen. Dadurch sichern Sie sich das Vertrauen Ihrer Kunden und erschließen sich neue Märkte.
Auch das Thema Nachhaltigkeit spielt in der Halbleiterindustrie mittlerweile eine entscheidende Rolle. Viele Hersteller von Halbleitern achten bei der Anschaffung neuer Produktionsmaschinen auf Faktoren wie Energieeffizienz und wünschen sich einen zuverlässigen Nachweis über die Nachhaltigkeit der Anlagen. Durch Prüfung und Zertifizierung der Norm SEMI S23 mithilfe eines international anerkannten Partners wie TÜV Rheinland lässt sich dieser Nachweis zuverlässig erbringen. Produzenten von Halbleiterfertigungsanlagen verschaffen sich so einen bedeutenden Wettbewerbsvorteil. Gerne begleiten wir Sie bereits ab Entwicklung Ihrer Maschinen mit umfassenden Services aus einer Hand.
Übrigens: SEMI steht für „Semiconductor Equipment and Materials“ und ist der Branchenverband für die weltweite Lieferkette der Elektronikproduktion und -entwicklung. Die SEMI-Standards gelten auch für die Photovoltaik- und Flachbildschirmfertigung. Wenn Sie es wünschen, unterstützen unsere Experten Sie auch in allen Fragen rund um den Export in die EU oder nach Nordamerika.
Unsere Services im Bereich Halbleiter – Prüfung und Zertifizierung nach SEMI
TÜV Rheinland führt für Sie die Prüfung und Zertifizierung von Maschinen zur Halbleiterherstellung nach den SEMI-Normen durch. Dabei stehen wir Ihnen als zuverlässiger Partner bereits ab der Entwicklung Ihres Produkts mit Rat und Tat zur Seite. Neben den unten aufgeführten vier SEMI-Normen gibt es eine Vielzahl von weiteren produktspezifischen Normen (z. B. für Roboter, autonome Fahrzeuge, Heizsysteme) und risikobasierte Normen (z. B. elektrische Sicherheit, Chemie, Brand).
- SEMI S2: Richtlinie für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit bei Halbleiterfertigungsanlagen
- SEMI S8: Richtlinie für die ergonomische Gestaltung der Fertigungsanlagen
- SEMI F47: Richtlinie zur Störfestigkeit bei Spannungsschwankungen
- SEMI S23: Richtlinie für den sparsamen Umgang mit Energie, Betriebsmitteln und Materialien, die in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet werden
SEMI S2 und SEMI S8 – anerkannte Standards für Sicherheit und Ergonomie
Die Richtlinien SEMI S2 und SEMI S8 sind in der Halbleiterindustrie anerkannte Standards. Vielfach machen Abnehmer sie zur Vertragsbedingung. Die Einhaltung von SEMI S2 sorgt für mehr Sicherheit in der Halbleiterindustrie, die häufig mit potenziell gefährlichen Stoffen und hohen Temperaturen arbeitet. SEMI S8 stellt sicher, dass die Ergonomie bei Betrieb, Wartung und Service der Halbleiterfertigungsanlagen die Gesundheit des Bedieners nicht schädigt. Dies gilt insbesondere für Arbeiten in Reinräumen mit Schutzkleidung.
Beide Richtlinien beinhalten verschiedene andere Normen. Um SEMI S2 und S8 gerecht zu werden, ist deshalb in den meisten Fällen eine Übereinstimmung mit amerikanischen und europäischen Anforderungen sowie eine ergonomische Sicherheitsbewertung nötig.
Unsere Leistungen:
- Entwicklungsbegleitende Prüfungen zur Konformität mit SEMI S2 bzw. SEMI S8 – und zwar schon ab Beginn der Konstruktionsphase
- Vollständige Berichte zu SEMI S2 bzw. SEMI S8
SEMI S23 – nachhaltige Maschinen für bessere Wettbewerbschancen
Bereits 2005 hat der Branchenverband SEMI die erste Version der Richtlinie SEMI S23 veröffentlicht, die umfassende Anforderungen an die Nachhaltigkeit von Halbleiterfertigungsmaschinen stellt. Die Richtlinie thematisiert den sparsamen Umgang mit Energie, Betriebsmitteln und Materialien, die in Halbleiterproduktionsanlagen verwendet werden. Während man der Norm zunächst wenig Beachtung schenkte, ist sie für die Branche mittlerweile hochrelevant. 2021 ist eine neue Version der SEMI S23 erschienen, die den aktuellen Stand der Technik widerspiegelt.
Grundsätzlich beschäftigt SEMI S23 sich mit zwei Aspekten.
- Messung des Ressourcen- und Energieverbrauchs: SEMI S23 gibt eine Anleitung, wie man an realen Maschinen den Ressourcen- und Energieverbrauch messen kann. Unsere Experten führen Messungen von Verbrauchswerten an der Maschine bei verschiedenen Betriebsmodi wie z. B. Produktion, Idle oder Schlafmodus durch. Relevante Größen sind dabei der elektrische Verbrauch, Abluft, Vakuum, Stickstoff, Kühlmedien und weitere. Mit festgelegten Umrechnungsfaktoren werden dann Energie oder Leistungsäquivalente berechnet. Daraus bestimmen wir schließlich eine Jahreskennzahl. Diese gilt als Maßstab für weitere Entwicklungen oder auch für Systeme unterschiedlicher Hersteller.
- Senkung des Ressourcen- und Energieverbrauchs: Darüber hinaus definiert SEMI S23 Vorgaben für ein Qualitätssystem, mit dem Hersteller den Ressourcen- und Energieverbrauch senken können. Hierzu soll der Verbrauch regelmäßig überwacht und bei Weiterentwicklungen reduziert werden.
Unsere Leistungen:
TÜV Rheinland unterstützt Sie gerne dabei, die Verbrauchswerte und Kennzahlen für Ihre Maschinen zu bestimmen und objektiv zu bewerten. Auf dieser Grundlage können Sie die Werte künftig verringern. Außerdem sind die Kennzahlen sowie die Einhaltung klar definierter Nachhaltigkeitsstandards nach SEMI S23 für Ihre Kunden ein wichtiges Kriterium bei der Kaufentscheidung.
SEMI F47 – Prüfung der Störfestigkeit für eine zuverlässige Produktion
Moderne Halbleiterherstellungsanlagen können empfindlich auf Störungen im Wechselstromnetz reagieren. Mögliche Folgen: Produktionsunterbrechungen, Beeinträchtigungen von sensiblen Geräten und Ausfallzeiten. Um sich gegen diese Ausfälle abzusichern, legen internationale Hersteller von Halbleitern großen Wert auf die Störfestigkeit der genutzten Maschinen – und fordern in diesem Zusammenhang häufig die Einhaltung der Industrienorm SEMI F47.
Denn mit der Einhaltung der Norm können Hersteller von Produktionsmaschinen genau diese Störfestigkeit sicherstellen. Der Standard definiert den Spannungseinbruch, den ein Industriegerät tolerieren muss, und ermöglicht dadurch eine objektive Prüfung der Störfestigkeit.
Unsere Leistungen:
Als einer der wenigen Anbieter in Europa bieten wir Ihnen diese Prüfung für Maschinen mit großer Stromaufnahme an – und zwar nicht nur in unseren Laboren, sondern auch als Vor-Ort-Prüfung. Das Prüfsystem (IPC-480V-200A) ermöglicht Prüfungen nach SEMI F47, IEC 61000-4-11 und IEC 61000-4-34 für eine oder drei Phasen bei 100–480 VAC, 50 oder 60 Hz und bis zu 200 A Laststrom pro Phase. Dank unserer Vor-Ort-Prüfung sparen Sie Zeit und können auch Maschinen prüfen lassen, die sich nicht in ein Labor transportieren lassen.
Die Norm IEC 61000-6-2:2016 (EN IEC 61000-6-2:2019) enthält auch Prüfanforderungen für Spannungseinbrüche und Kurzzeitunterbrechungen nach der IEC 61000-4-34 (mit mehr als 16 A pro Phase).
Weitere Services im Bereich Halbleiter
- Recherche über die Anforderungen von staatlichen oder lokalen Behörden in den USA oder anderer Standorte
- Bewertungen bezüglich Chemie und Brandschutz
Ihre Vorteile auf einen Blick
- Ihr Partner von Anfang an: TÜV Rheinland unterstützt Sie nicht bloß, wenn es um die Prüfung und Zertifizierung Ihrer Maschinen geht. Wir begleiten Sie bei Bedarf bereits bei der Entwicklung Ihrer Anlagen, sodass Sie Probleme von vornherein vermeiden können.
- Zeit- und Geldersparnis: Durch unseren kontinuierlichen Support ab der Entwicklungsphase bis zur Zertifizierung können Sie Prozesse effizient gestalten und so letztlich Zeit und Geld sparen.
- Qualitätssicherung: Sie signalisieren Ihren Kunden durch unsere unabhängigen und zuverlässigen Prüfungen hohe Qualitätsstandards.
- Geringeres Haftungsrisiko: Sie senken Ihr Haftungsrisiko durch dokumentierte Sicherheitsstandards.
- Wettbewerbsvorteil: Sie sichern sich einen klaren Wettbewerbsvorteil durch ein neutrales Prüfzeichen. Damit machen Sie die Eignung Ihrer Systeme für die Halbleiterindustrie schnell erkennbar.
- Internationaler Marktzugang: Durch die Zertifizierung wird der Zugang zu ausländischen Märkten vereinfacht. Gerne beraten wir Sie zum Export Ihrer Anlagen ins Ausland. Dabei können wir auf ein großes internationales Netzwerk an TÜV Rheinland Standorten zurückgreifen.
- Ausgezeichneter Ruf von TÜV Rheinland: Mit einer Zertifizierung durch TÜV Rheinland profitieren Sie gleich doppelt – zum einen von einer zuverlässigen Zertifizierung, zum anderen von unserem ausgezeichneten Ruf. Auch international sind wir in der Branche als vertrauenswürdiger Partner bekannt. Viele Unternehmen, denen Qualität und Sicherheit wichtig ist, setzen auf uns als exklusiven Prüfungs- und Zertifizierungspartner.
- Zuverlässige Zertifizierungen: Wir verfügen über langjährige Erfahrung bei der Zertifizierung nach SEMI-Standards, sodass Sie sich jederzeit auf unsere Expertise verlassen können.
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